Мас-спектрометр вторинних іонів IMS-3f
(CAMECA, Франція)
Специфікація:
Джерела іонів – O2+, Ar+, O-;
Енергія первинного іонного пучка – від 3 до 17.5 кВ;
Струм первинного іонного пучка (для O2+ джерела) – до 1.3 мкA;
Мінімальний діаметр первинного іонного пучка – близько 1 мкм;
Розмір растру первинного іонного пучка – до 500 x 500 мкм;
Полярність вторинних іонів – негативна або позитивна;
Масова роздільна здатність – до 30 000;
Чутливість – до 100% рівня суб-ppb.
Типи досліджень, які ми проводимо:
Точковий та растровий елементний аналіз;
Точковий та растровий ізотопний аналіз;
Лінійне профіль;
Карти розподілу мас;
Глибинне профіль;
Аналіз розподілу енергій вторинних іонів.
Мас-спектрометр вторинних іонів IMS-3f
(CAMECA, Франція)
