Масс-спектрометр вторичных ионов IMS-3f (CAMECA, Франция)

Масс-спектрометр вторичных ионов IMS-3f
(CAMECA, Франция)

Спецификация:

Источники ионов – O2+, Ar+, O-;

Энергия первичного ионного пучка – от 3 до 17.5 кВ;

Ток первичного ионного пучка (для O2+ источника) – до 1.3 мкA;

Минимальный диаметр первичного ионного пучка – около 1 мкм;

Размер растра первичного ионного пучка – до 500 x 500 мкм;

Полярность вторичных ионов – отрицательная или положительная;

Массовое разрешение – до 30 000;

Чувствительность – до 100 % уровня суб-ppb.

Типы исследований, которые мы проводим:

Точечный и растровый элементный анализ;

Точечный и растровый изотопный анализ;

Линейное профилирование;

Карты распределения масс;

Глубинное профилирование;

Анализ распределения энергий вторичных ионов.

Масс-спектрометр вторичных ионов IMS-3f
(CAMECA, Франция)