Оже-мікрозонд із польовою емісією JAMP 9500F
(JEOL, Японія)

Оже-мікрозонд JAMP 9500F на сьогодні має найвищу просторову роздільну здатність у світі. Його досконала електронно-оптична система дозволяє досягати мінімального діаметра зонда 3 нм у режимі зображення у вторинних електронах та 8 нм у режимі оже-аналізу. Він дозволяє отримувати зображення поверхні зразка, використовуючи високороздільний режим вторинних електронів, режими оже-картування та лінійного профілю. Цей прилад може проводити глибинне профілювання з використанням іонного травлення. Більш того, нова нейтралізуюча іонна гармата дозволяє досліджувати зразки непровідних матеріалів. Оже-мікрозонд JAMP 9500F обладнаний енергодисперсіонним рентгенівським спектрометром INCA PentaFETx3 (Oxford Instruments, Великобританія) та мікрофокусною рентгенівською трубкою з капілярною оптикою µIFG iMOXS (Institute for Scientific Instruments, Німеччина). Його основні компоненти представлені Фото справа.

Наявні методи:

скануюча електронна мікроскопія високої роздільної здатності (режим зображення у вторинних електронах, 3 нм; режим зображення у розсіяних електронах, 6 нм);
локальна оже-електронна спектроскопія;
електроннозондовий рентгенівський мікроаналіз;
µ-рентгенівський флуоресцентний аналіз.

Основні характеристики про мікрозонд JAMP-9500F такі:

докоряюча напруга електронної гармати – від 0.5 до 30 кВ;
дозвіл зображення у вторинних електронах – 3 нм;
дозвіл зображення у розсіяних електронах – 8 нм;
діаметр зонда при оже-аналізі – 8 нм;
збільшення – від 20 до 500 000 разів;
тип проже аналізатора - напівсферичний електростатичний енергоаналізатор;
система детектування – мультиканальне детектування (7 каналів);
дозвіл по енергії – від 0.05 до 0.6 %;
чутливість – 840 000 cps/7 каналів;
дозвіл по енергії для енергодисперсійного рентгенівського спектрометра – 126 еВ на MnKα
діапазон визначених елементів – від B;
діапазон енергій – до 40 кВ;
висока напруга мікрофокусної рентгенівської трубки – до 50 кВ;
мінімальний діаметр рентгенівського пучка – 120 мкм.

Типи досліджень, які ми проводимо:

зображення поверхні зразка у високій роздільній здатності (3 нм);
точковий оже-електронний аналіз (мінімальний діаметр близько 8 нм);
оже-електронний лінійний профіль;
оже-електронне картування поверхні з просторовою роздільною здатністю близько 8 нм;
оже-електронне глибинне профільування;
аналіз хімічного стану поверхонь та шарів;
рентгенівський електроннозондовий точковий мікроаналіз;
рентгенівське картування поверхні;
µ-рентгенівський флуоресцентний точковий аналіз (мінімальний діаметр близько 120 мкм).

Оже-мікрозонд з польовою емісією JAMP-9500F (JEOL, Японія): скануючий електронний мікроскоп з електронною гарматою з польовою емісією (1); оже-електронний спектрометр (2); Ar-іонна гармата (3); енергодисперсійний рентгенівський спектрометр INCA PentaFETx3 (Oxford Instruments, Великобританія) (4); мікрофокусна рентгенівська трубка з капілярною оптикою µIFG iMOXS (Institute for Scientific Instruments, Німеччина) (5).