Оже-микрозонд с полевой эмиссией JAMP 9500F (JEOL, Япония)

Оже-микрозонд с полевой эмиссией JAMP 9500F
(JEOL, Япония)

Оже-микрозонд JAMP 9500F на сегодня имеет самую высокую пространственную разрешающую способность в мире. Его совершенная электронно-оптическая система позволяет достигать минимального диаметра зонда 3 нм в режиме изображения во вторичных электронах и 8 нм в режиме оже-анализа. Он позволяет получать изображение поверхности образца, используя высокоразрешающий режим вторичных электронов, режимы оже-картирования и линейного профиля. Этот прибор может проводить глубинное профилирование с использованием ионного травления. Более того, новая нейтрализующая ионная пушка позволяет исследовать образцы непроводящих материалов. Оже-микрозонд JAMP 9500F оборудован энергодисперсионым рентгеновским спектрометром INCA PentaFETx3 (Oxford Instruments, Великобритания) и микрофокусной рентгеновской трубкой с капиллярной оптикой µIFG iMOXS (Institute for Scientific Instruments, Германия). Его основные компоненты представлены на Рис справа.

Имеющиеся методы:

сканирующая электронная микроскопия высокого разрешения (режим изображения во вторичных электронах, 3 нм; режим изображения в обратнорассеянных электронах, 6 нм);

локальная оже-электронная спектроскопия;

электроннозондовый рентгеновский микроанализ;

µ-рентгеновский флуоресцентный анализ.

Основные характеристики оже микрозонда JAMP-9500F таковы:

укоряющее напряжение электронной пушки – от 0.5 до 30 кВ;

разрешение изображения во вторичных электронах – 3 нм;

разрешение изображения в обратнорассеянных электронах – 8 нм;

диаметр зонда при оже-анализе – 8 нм;

увеличение – от 20 до 500 000 раз;

тип оже анализатора – полусферический электростатический энергоанализатор;

система детектирования – мультиканальное детектирование (7 каналов);

разрешение по энергии – от 0.05 до 0.6 %;

чувствительность – 840 000 cps/7 каналов;

разрешение по энергии для энергодисперсионного рентгеновского спектрометра – 126 эВ на MnKα

диапазон определяемых элементов – от B;

диапазон энергий – до 40 кВ;

высокое напряжение микрофокусной рентгеновской трубки – до 50 кВ;

минимальный диаметр рентгеновского пучка – 120 мкм.

Типы исследований, которые мы проводим:

изображение поверхности образца в высоком разрешении (3 нм);

точечный оже-электронный анализ (минимальный диаметр около 8 нм);

оже-электронный линейный профилироль;

оже-электронное картирование поверхности с пространственным разрешением около 8 нм;

оже-электронное глубинное профилирование;

анализ химического состояния поверхностей и слоев;

рентгеновский электроннозондовый точечный микроанализ;

рентгеновское картирование поверхности;

µ-рентгеновский флуоресцентный точечный анализ (минимальный диаметр около 120 мкм).

Оже-микрозонд с полевой эмиссией JAMP-9500F (JEOL, Япония): сканирующий электронный микроскоп с электронной пушкой с полевой эмиссией (1); оже-электронный спектрометр (2); Ar-ионная пушка (3); энергодисперсионный рентгеновский спектрометр INCA PentaFETx3 (Oxford Instruments, Великобритания) (4); микрофокусная рентгеновская трубка с капиллярной оптикой µIFG iMOXS (Institute for Scientific Instruments, Германия) (5).